迷你型‧即時藥液濃度分析儀

體積精巧，易整合於既有設備內：機身設計緊湊，可安裝於設備內部或製程旁路空間，適合導入既有清洗、蝕刻、顯影或剝膜設備，降低改機難度並縮短導入評估時間。